產品詳情
Filmetrics 自動測量光學膜厚儀介紹：
Filmetrics F54-XYT-300 自動測量光學膜厚儀借助F54-XYT-300的光譜反射系統，可以快速輕松地測量200 x 200mm樣品的薄膜厚度。電動XY工作臺自動移動到選定的測量點并提供快速的厚度測量，速度達到每秒兩點。
特點優勢：
自動化薄膜厚度繪圖系統，快速定位、實時獲得結果；
可測樣品膜層：基本上光滑的。非金屬的薄膜都可以測量；
測繪結果可用2D或3D呈現，方便用戶從不同的角度檢視；
測量原理：
當入射光穿透不同物質的界面時將會有部分的光被反射，由于光的波動性導致從多個界面的反射光彼此干涉，從而使反射光的多波長光譜產生震蕩的現象。從光譜的震蕩頻率，可以判斷不同界面的距離進而得到材料的厚度（越多的震蕩代表越大的厚度），同時也能得到其他的材料特性如折射率與粗糙度。
應用與膜層范例：
常見工業應用：
半導體制造 | LCD液晶顯示器 | 光學鍍層 | MEMS微機電系統 |
光刻膠 | 聚酰亞胺 | 硬涂層 | 光刻膠 |
氧化物/氮化物/SOI | ITO透明導電膜 | 抗反射涂層 | 硅系膜層 |
晶圓背面研磨 |
產品參數：
波長范圍： | 190nm-1700nm | 光源： | 鎢鹵素燈、氘燈 |
測量nk厚度要求1*： | 50nm | 測量精度2： | 0.02nm |
準確度*：取較大者 | 1nm或0.2% | 穩定性3： | 0.05nm |
樣品大小： | ≤直徑300毫米 | 速度（含有真空平臺）： | 5個點-8秒 25個點-21秒 56個點-43秒 |
光斑大小 | 標準500 微米孔徑 | 選配250 微米孔徑 | 選配100 微米孔徑 |
5X物鏡 | 100μm | 50μm | 20μm |
10X物鏡 | 50μm | 25μm | 10μm |
15X物鏡 | 33μm | 17μm | 7μm |
50X物鏡 | 10μm | 5μm | 2μm |
Filmetrics 自動測量光學膜厚儀測量圖：
