產品詳情
Filmetrics F60-t 自動光反射膜厚儀
Filmetrics F60-t 自動光反射膜厚儀產品介紹：
Filmetrics F60-t 自動光反射膜厚儀就像我們的F50白光干涉膜厚測量儀產品一樣。主要測繪薄膜厚度和折射率。但它增加了許多用于生產環境的功能。這些功能包括凹槽自動檢測、自動基準確定、全封閉測量平臺、預裝軟件的工業計算機，以及可以升級到全自動化晶圓傳輸的機型。
Filmetrics F60-t 自動光反射膜厚儀特點優勢：
自動化薄膜厚度繪圖系統，快速定位、實時獲得結果；
可測樣品膜層：基本上光滑的。非金屬的薄膜都可以測量；
所有系統皆使用直觀的標準分析軟件；
凹槽自動檢測
自動基準確定
全封閉測量平臺
Filmetrics F60-t 自動光反射膜厚儀產品測量原理：
當入射光穿透不同物質的界面時將會有部分的光被反射，由于光的波動性導致從多個界面的反射光彼此干涉，從而使反射光的多波長光譜產生震蕩的現象。從光譜的震蕩頻率，可以判斷不同界面的距離進而得到材料的厚度（越多的震蕩代表越大的厚度），同時也能得到其他的材料特性如折射率與粗糙度。
Filmetrics F60-t 自動光反射膜厚儀產品應用：
Filmetrics F60-t 自動光反射膜厚儀產品參數：
波長范圍： | 190nm-1340nm | 光源： | 鎢鹵素燈 |
光斑大小： | 標準1.5毫米（最小可達150μm） | 測量精度： | 0.02nm1 |
準確度*：取較大者 | 1nm或0.2% | 穩定性： | 0.05nm3 |
更多參數可聯系我們獲取 | |||
Filmetrics F60-t 自動光反射膜厚儀測量圖：
