Filmetrics F3-sX 光學厚膜測厚儀

Filmetrics F3-sX 光學厚膜測厚儀產品介紹：

Filmetrics F3-sX 光學厚膜測厚儀利用光譜反射原理，可以測量厚度達到3毫米的眾多半導體及介電層薄膜。相對于較薄的膜層，這種厚膜的表面較粗糙且不均勻，F3-sX系列膜厚儀配置10微米的測量光斑，從而可以容易地測量其他膜厚測量儀器不能測量的膜層，并且僅在幾分之一秒內完成。F3-sX膜厚儀在Si晶圓厚度測量、護涂層、IC芯片失效分析、厚光刻膠等方面優異表現。

Filmetrics F3-sX 光學厚膜測厚儀產品特點優勢：

• 非接觸測量：避免損傷薄膜，適用于脆弱或敏感材料；

• 多場景適用性：基本上光滑的、半透明的或低吸收系數的薄膜都可以測量。

• 測量速度快：配置完成后，數秒內即可完成測量。

• 采用近紅外光(NIR)來測量膜層厚度，因此可以測試一些肉眼看是不透明的膜層

• 配件包括自動繪圖平臺、測量點可視化攝像機，和可見光擴展波段選項

Filmetrics F3-sX 光學厚膜測厚儀產品測量原理：

當入射光穿透不同物質的界面時將會有部分的光被反射，由于光的波動性導致從多個界面的反射光彼此干涉，從而使反射光的多波長光譜產生震蕩的現象。從光譜的震蕩頻率，可以判斷不同界面的距離進而得到材料的厚度（越多的震蕩代表越大的厚度），同時也能得到其他的材料特性如折射率與粗糙度。

Filmetrics F3-sX 光學厚膜測厚儀產應用與膜層范例：

• 薄膜特性：厚度、反射率、透射率、光學常數、均勻性、刻蝕量等

• 薄膜種類：透明及半透明薄膜，常見如氧化物、聚合物甚至空氣

• 薄膜狀態：固態、液態和氣態薄膜都可以測量

• 薄膜結構：單層膜、多層膜；平面、曲面

Filmetrics F3-sX 光學厚膜測厚儀產品常見工業應用：

Filmetrics F3-sX 光學厚膜測厚儀產品參數：

Filmetrics F3-sX 光學厚膜測厚儀測量圖：